Meriam流量計(jì)/ 層流元件（LFE）

Meriam 層流元件（LFE）非常適合測(cè)量從0.2SCCM到2250 SCFM的低氣體流量。

準(zhǔn)確且可重復(fù)，并且可以追溯到美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院。

流量調(diào)節(jié)比為20：1或更高，并且產(chǎn)生的壓差與流量幾乎呈線(xiàn)性關(guān)系。

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50MW20-1 1/2

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50MH10-1 1/4

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